真空互联实验装置建成 将为纳米材料研究提供新路径
2023-02-23 08:43:52
科技日报
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2月18日，中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所纳米真空互联实验站（Nano-X）二期项目通过总体验收，这为未来纳米材料研究及纳米器件制造提供了全新路径与可能。
来自中国科学技术大学、中国科学院化学研究所、中国科学院苏州医工所、中国电子科技集团公司电子科学研究院、苏州大学5所高校、科研院所组成的7人专家组认为，经过两期建设，实验站已建成世界上规模最大、功能最齐全的真空互联综合实验装置，项目圆满完成了合同书规定的各项研发任务，达到合同规定的各项技术指标，整体水平达到国际先进。
Nano-X是集材料原位生长、器件加工、测试分析为一体的材料领域重大综合科学装置，面向国家战略需求和科学前沿重大问题，开创了一条变革性的技术路线，将材料生长、器件工艺、测试分析通过超高真空管道有机互联在一起，突破常规超洁净环境下，独立分散设备难以实现的材料本征特性、原子级精准调控、表/界面调控和异质集成、器件原位制造等局限，为国家战略材料和前沿材料领域研究提供重要建制化、体系化支撑。
目前，已有近40台各种大型设备通过203米长的超高真空管道互联，建成了材料制备模块、微观机理准原位分析模块、跨尺度性能测试模块、气氛可控模块和真空互联控制与对接系统等五大模块平台，形成了全真空环境下的纳米材料和器件研究开发的综合实验系统。
